介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、*处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析 麦氏真空计PM-2制造, 直接输出数字信号。配以温度补偿技术, 保证它的高精度。通过用高精度真空计校准, 并与之比较, 其测量结果达到预期。
扩散硅压力传感器以其测量范围宽、精度高、耐腐蚀等优点, 正得到越来越多人的关注。
信号调理电路为一高输入阻抗差分放大器。A1、A2 两个运放构成输入级 麦氏真空计PM-2主营, 再与A3 串联组成三运放差分放大电路。在该电路中, 完全对称的A1和A2 提高了信噪比; 电路对共模信号几乎没有放大作用, 共模抑制比高。该差分放大电路的放大倍数计算如式(1) 所示
在电路中, 设计电阻R 1 = R2 = 24 k欧姆 麦氏真空计PM-2价格, RG= 2k欧姆 , 所以差分信号的放大倍数为25 倍, 恰好可以将原始信号放大到A/D采集所需的信号等级。电阻R0= 470欧姆 , 用于保护运放输入级。