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介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、*处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析, 直接输出数字信号。配以温度补偿技术, 保证它的高精度。通过用高精度真空计校准, 并与之比较, 其测量结果达到预期。
扩散硅压力传感器以其测量范围宽、精度高、耐腐蚀等优点, 正得到越来越多人的关注。